第524章进步（1 / 2）

第524章 进步

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合肥，华光光刻精密设备公司国家重大技术装备验收组一行首长看得很认真，只见眼前的工作台上放着一台全新的光刻机，长宽大约一米左右，高约1.5米，设备结构与之前的银汞灯紫外线光刻机有着明显的区别，设备看上去更加复杂了。

一旁的学部委员，光刻机研究项目总负责人唐九华，正在作着介绍:“各位领导，这台新型66式光刻机采用了新型g线高压银汞灯紫外线蓝光技术，波长为436纳米，它改进了过去的多制程曝光光刻工艺的缺点，采用了全新的扫描式光刻工艺，最高可实现1微米光刻。

四机部王争部长仔细的观察着光刻机，问道:“它的稳定制程能达到多少?quot;根据我们的实验测算，1微米制程合格率为3微米稳定制程合格率达到了65%，5微米为38%，78%，10微米能达到91.7%。“唐九华问道。

“也就是说10微米制程水平与此前的高功率银汞灯光刻机水平差不多。

“是的，但是两者的生产效率不一样，这台新式光刻机效率可提高35%左右。quot;唐九华继续说道:“更重要的是，它的线宽能做到更小，且能够集成更多的晶体管。”

说完，他拿起一块芯片展示了起来:“这块芯片上集成了2400个晶体管，这不是它的极限，我们至少在它上面还能再加上七到八百个晶体管。

验收组组长郭副总理问道:“集成晶体管的多少会有哪些区别?”唐九华回道:“意味着芯片上的电路能实现更多的功能，而这也是我们接下来要做的工作。quot;说完便看向了方叶。

只见方叶微笑着点了点头，他向二位领导汇报道:“有了这台光刻机，我们就可以制造全新的ic芯片了，准确

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