第103节（2 / 2）

无他，因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果！

无数日?夜的数据优化?、改进，从光源系统到光刻系统，从激光器到复杂的双工作台，从反射镜到晶圆等部件材料，海量的数据和磅礴的公式计算，一千多个日?夜的心血全数系在这一刻！

盛明安盯着右手边的光屏，那是光源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致，说明——

“方案可行。”

第66章 星晓[13] 红头文件。

方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的！

不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统，包括仿真建模里?，模拟出?来的双工作台、反射镜等?数据都可以应用！

但现?在?不?是高兴的时候,仿真建模只是高阶光刻机制造的第一步,接下?来的设备组装、研制才是关键。

光有设计图纸,没有适合的材料、顶级工匠和研发设备那也是白搭。

雷客：“光源系统设备的研制需要专业顶级的工程师，蓝河科技恐怕人手不?足。后期组装也需要其他实验室的研究进度跟得上。”

闻言，杜颂的笑容僵住：“还有资金和材料,光源系统设备材料不?能用普通钢板，还有精度严格的反射镜怎么办？”

这些问题一早就想到，那时盛明安让他们专心?攻克光源系统，以至于直到现?在?用到了才开始发愁。

林成建等?人不?由担忧，研发资金捉襟见肘，新材料倒是可以找华电科，就是不?知道那些新材料是否符合标准。

就算新材料符合标准,精度至皮米的反射镜目前国内没人造得出?来。

盛明安：“陈惊璆会解决这些问题。”

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